影像測量儀的測量是單軸、二維平面的測量、三維空間坐標的測量。測量時先對焦取點最后計算處理。對焦對準依靠光學系統(tǒng)，讀數來自于標尺即光柵系統(tǒng)，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因為如果被測件不能被有效正確的照明的影像方法的測量的儀器，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外，制約測量精度不可忽視的因素也包括環(huán)境條件。于上述分析,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:

　　1）光柵計數尺的誤差;

　　2）直線度、角擺在工作臺移動時帶來的誤差;

　　3）工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差;

　　4）工作臺面與顯微鏡光軸不垂直帶來的誤差;

　　5）偏離校準要求的參考溫度的測量室溫度帶來的誤差;

　　6）光源照明條件的變化帶來的對準和對焦誤差。

　　在這幾種因素中，前四項誤差在儀器制造過程中已經形成并固定下來，一般無法改變，是硬件誤差。必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小溫度影響帶來的誤差。在實際測量中最后一項則常被忽視，被測工件的影像質量和照明效果直接受到光源照明條件改變的影響，主要是因為影像測量儀的圖像是通過具有自動調節(jié)增益的功能CCD接收，但當亮度過大時則會失去調節(jié)功能，導致被測工件影像縮小，當亮度過低時，工件影像反而變大。所以只要注意整個測量過程中照明條件保持不變，其影響可以忽略，因為每個重復圖形結構都同時在變大或變小，影像變形的影響被間距的測量計算直接消除了；除了這種特殊情形外,如測量工件的長度、圓的直徑和寬度，都將帶來明顯的誤差。